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ポーラスチャック

Porous Chuck

ポーラスチャック

ポーラスチャック(吸着テーブル)の多くはダイシングソーをはじめ各種半導体製造装置(主に後工程)や検査装置に組み込まれている部品です。テーブル表面のポーラス(多孔質)構造と負圧を利用することによって薄いシリコンウェハー等を平面保持することが出来る製品です。最近ではシリコンウェハはもちろん、フィルム・紙など、ありとあらゆる薄物ワークの吸着固定を実現します。

ポーラス表面は3µm以下の高精度に仕上げ可能です。

ポーラスチャックの種類

当社のポーラスチャックは95%以上がオーダーメイド製作。ボディポーラスの材質や、気孔径の剪定など、ポーラスチャックの仕様は無限大。

スタンダード仕様

スタンダード仕様のポーラスチャック。コストパフォーマンスに優れ、単納期での対応が可能。
・ポ ー ラ ス 平 均 気 孔 径:5 5 μ m
・ポ ー ラ ス 材 質:ア ル ミ ナ セ ラ ミッ ク
・ボ ディ 材 質:S U S

ファインポーラスチャック

緻密な気孔径のポーラスを選定。フィルムなど極薄ワーク への対応やポーラス全面を覆わない部分吸着力に優れます。
・ポ ー ラ ス 平 均 気 孔 径:2 μ m
・ポ ー ラ ス 材 質:ア ル ミ ナ セ ラ ミッ ク
・帯電除去素材

SiCポーラスチャック

帯電除去可能なポーラス材(体積抵抗率:約107Ω・cm) を使用。静電気対策に最適なポーラスチャックです。
・選定可能気孔径:10~230μmw
・ ポ ー ラ ス 材 質 : S i C( 炭 化 ケ イ 素 )
・帯電除去素材、傷に強くレーザー加工用途に最適

硬質アルマイト(アルミボディ)

ポーラスチャック

アルミボディに厚膜の硬質アルマイト処理を施した仕様。 スタンダード仕様と比較し軽量化を実現
・ボ デ ィ 材 質:ア ル ミ
・搬送、検査、稼働ステージへの搭載に最適

セラミックボディ

ポーラスチャック

帯電除去可能なポーラス材(体積抵抗率:約107Ω・cm) を使用。静電気対策に最適なポーラスチャックです。
・選定可能気孔径:10~230μmw
・ ポ ー ラ ス 材 質 : S i C( 炭 化 ケ イ 素 )
・帯電除去素材、傷に強くレーザー加工用途に最適

メタル

ポーラスチャック

帯電除去可能なポーラス材(体積抵抗率:約107Ω・cm) を使用。静電気対策に最適なポーラスチャックです。
・選定可能気孔径:10~230μmw
・ ポ ー ラ ス 材 質 : S i C( 炭 化 ケ イ 素 )
・帯電除去素材、傷に強くレーザー加工用途に最適

HoVaC

(ホットバキュームチャック)

ヒーターを内蔵することにより、最大250°Cまでの加熱機能 を追加したポーラスチャック。吸着と加熱を同時に 可 能 で す 。プ レ ー ト 状 の 部 品 の 積 層 構 造 と な っ て お り 、 加 熱 時 の熱変形を最小限に抑える工夫を施しています。
・選 定 可 能 気 孔 径:2 μ m ~2 3 0 μ m
・ポーラス材質:アルミナセラミック or SiC
・ボディ材質:SUS(~100°C)、アルミナセラミック(~250°C)
・温 度 分 布:± 2 °C ( 仕 様 に よ る )
・サイズ:φ100~φ400、□100~□400
・ヒ ー タ ー の 種 類 や 配 線 パ タ ー ン の カ ス タ マ イ ズ に 対 応

面発光ポーラスチャック

光源を内蔵することにより、発光機能を追加したポーラスチャックです。点発光でなく全面発光となり多層ウェハの内部パターン検査や、検査ワークのエッジ検査の精度向上などに貢献します。

・選定可能気孔径:120μm
・ポ ー ラ ス 材 質:ア ル ミ ナ セ ラ ミッ ク ( 白 の み )
・ボディ材質:SUS
・光量:~10万ルクス(ポーラス表面での測定値)
・ サ イ ズ : ~ φ 2 0 0 、□ 2 0 0

選定可能な仕様一覧

(記載のないものはお問い合わせください)

即納品オンライン販売

ポーラスチャックのストックリストです。
お急ぎでポーラスチャックをご使用したい方は、下記のリストよりご選択下さい。
最短で翌営業日に出荷致します。

ストック数量は、都度異なりますので担当営業またはお問い合わせページよりご連絡ください。

丸型ポーラスチャック

型式YPR-0200-055
サイズφ230×15t [mm]
吸着エリアφ200 [mm]
気孔径55 [μm]
引出方向側面・下面
ポーラス色
ポーラス材質アルミナ
ボディ材質SUS
精度5 [μm]
価格お問合せ下さい

角型ポーラスチャック

型式YPS-0100-055
サイズ
125×125×15t [mm]
吸着エリア100×100 [mm]
気孔径55 [μm]
引出方向側面・下面
ポーラス色
ポーラス材質アルミナ
ボディ材質SUS
精度5 [μm]
価格お問合せ下さい

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